適用 Micro LED 顯示器、晶圓的高速、高精度光學計量

Micro LED 具相當大商業潛力，隨之而來是設備、晶圓檢測商機。在 TrendForce 舉辦的 Micro LEDforum 2024 研討會，Instrument Systems 產品經理 Tobias Steinel 討論了顯示器和晶圓上每個 Micro LED 的 Micro LED 計量、分析面臨之挑戰及解決方案。

Tobias Steinel 介紹如何以單發射器解析度對顯示器、晶圓上的電致發光（Electroluminescence，EL）、光致發光（Photoluminescence，PL）進行測量與分析，並提供使用 Instrument Systems 測量設備的量產 PL 晶圓測試儀預覽。

Tobias Steinel 指出，在 Micro LED（µLED）晶圓測試中，使用 LumiTop 對晶圓的光致發光、電致發光進行 2D 測量可得到類似積分球測量的結果，但速度比積分球測量快許多，目前速度約 5～20 分鐘，具體取決於晶圓尺寸及含有多少 Micro LED。

LumiTop 系列顯示器測試系統針對生產品質最佳化，該系統包含一個 LumiTop 成像色度測量儀、一個 CAS 系列高階光譜儀、一個光電二極體，這種組合能在一個測試站執行所有相關光學測試，最重要的測試變數包括：顯示器均勻性測量（亮度和色度）、缺陷檢測（Mura）、伽瑪指數測定、閃爍和亮度調節。

Tobias Steinel 展示了該公司設備如何採用同軸方法，透過物鏡直接將光線照射到晶圓，同時將晶圓的光致發光以同軸方式直接傳送到相機。

這些適用於 Micro LED 顯示器和晶圓的高速、高精度光學計量也可在 VR 顯示器、微型顯示器上操作，測量準確性對於最終品質非常重要， Tobias Steinel 說，他們的設備相機非常準確，能減少測量不確定性並讓客戶獲得更好生產良率。

（首圖來源：wikipedia）