中國加緊研發先進製程設備，擺脫國外公司控制

外媒報導，中國最大半導體公司中芯國際使用老式 DUV 設備，只要美國出口禁令在，中國就不可能取得先進設備，唯一方法就是自己開發製造晶片設備。新報告談到與華為關係密切的公司新凱來 (SiCarrier)，正努力使 ASML 不再是 EUV 的主要製造商。

華為幫助下，專注雷射誘導放電等離子體（LDP）的客製化 EUV 原型設備，預定第三季試產。日本經濟新聞報導，未說明設備是否與 SiCarrier 測試中硬體相同。但最新消息，新凱來不只開發一款機器而是多款，以取代 ASML，減少外國控制，幫助中國走出困境。

新凱來獲深圳市政府支持營運。知情人士透露，新凱來專注晶片製造，瞄準 ASML、應用材料、Lam Research 等公司。其他涉及曝光、化學氣相沉積、測量、物理氣相沉積、蝕刻和原子層沉積硬體都在研發中。

新凱來與華為晶片生產和晶片製造設備團隊密切合作，縮小技術差距。還不清楚第一台原型機何時投產，才能生產中國最先進中芯國際 5 奈米製程。

中芯國際還未量產 5 奈米晶圓，因用 DUV 生產耗費太多時間，晶圓良率又低，只會增加生產成本。看來在新凱來、華為和中國政府努力下，或許不用多久中國晶片製造又會大躍進。

(首圖來源：ASML)