
矽(Silicon)是半導體產業的根本,台灣掌握全球半導體產業命脈,那我們就更該問一個問題:矽是從哪裡來的?
「一沙一世界」,用在半導體產業再適合不過,因為讓台灣稱霸世界的矽,就是從最不起眼的沙子提煉。矽元素在自然界中以二氧化矽(SiO₂)形態存在,地球上含量極高,在沙灘上就能看見。雖然普通的沙子也能用來提煉矽,不過現代半導體產業為了追求更高純度,主要使用的含矽純度極高的「石英砂」又稱為「矽砂」,這種材料主要來自風化後的花崗岩與石英脈礦,顧名思義它的矽含量高達 95%,不僅雜質少,物理結構也更適合熔煉與晶體成長。
一、從沙子到高純度多晶矽:像黑糖變白砂糖的「煉晶術」
天然石英砂雖在特定地區可大量取得,但要成為像台灣一樣龐大的半導體產業,卻極為少見,因為這後面的工序一點也不簡單,光是從石英砂到矽,就要經過三道工序。
二氧化矽中的矽與氧原子結合得非常緊密,無法直接使用,必須先經過高溫還原。這個過程通常會在大型電弧爐中進行,將二氧化矽、碳(如煤炭和木屑)在高達1800°C 的高溫作用下,產生還原反應:
SiO₂ + 2C → Si + 2CO↑
得到的產物稱為冶金級矽(MG-Si),純度約 98-99%,已可以用於工業建築的材料,像是鍊鋼、鋁矽合金,全球每年生產數百萬噸冶金級矽,其中只有不到 1%,會進入到下一個階段。
為了進到純度 99% 以上的世界,這批 MG-Si 會先和氯化氫反應轉化成三氯矽烷(SiHCl₃),這種液態矽進入西門子法(Siemens Process)的工序,在一個鐘形裝置中加熱到 1,100°C,接著透過蒸餾分離雜質,使三氯矽烷氣化還原,沉積在反應爐內上形成高純度的多晶矽(Polysilicon),其純度可高達11N,也就是為99.999999999%,總共 11 個 9 。
▲ 西門子法:Si + 3HCl → SiHCl₃ + H₂ (Source:Rfassbind, Public domain, via Wikimedia Commons)
這就像是把黑糖一步步精煉成白砂糖的過程,這項提純技術至關重要,因為純度會直接影響到後續晶片製程的「良率」與穩定性。只是此時多晶矽外觀仍略顯粗糙,尚未達到可用於製造晶片的平整度,因此還需要進入下一個關鍵步驟。
二、「煉晶」後拉出單晶矽棒:像做棉花糖一樣「旋轉拉絲」
高純度的多晶矽不僅外觀不規則,內部結構也沒有排序,因此下一步就是將其轉換成單晶矽(Monocrystalline Silicon),也就是結構排列整齊、無晶界的矽材料。
這個過程被稱為柴可拉斯基法(Czochralski Process),也稱直拉法或提拉法。具體做法是將多晶矽放入坩鍋中高溫熔化,再把一根由單晶矽製成的「晶種棒」緩慢地垂直插入熔融矽液中,同時控制旋轉與向上拉升的速度。這樣一來,矽原子會依循晶種的排列方式開始結晶,逐漸形成一根「單晶矽棒」。
▲ 柴可拉斯基法。(source:Twisp, Public domain, via Wikimedia Commons)
這個過程有點像製作棉花糖:糖漿在轉盤中被拉絲、堆疊成形。這根由矽拉出的「單晶矽棒」,隨後會被切割成一片片薄如紙的圓片,這就是我們熟悉的矽晶圓(wafer),化身為智慧手機、電腦與各類運算元件的核心基礎。
目前矽晶圓製造技術主要掌握在日本企業手上,包括信越化學(Shin-Etsu Chemical)、勝高(Sumco)和台灣的環球晶(GlobalWafers),信越化學更控制了全球超過三成的市場,是台積電等代工廠的主要原料供應商。
從一顆不起眼沙子開始,經過高溫提煉、層層純化、精密拉晶與切割,最終成為全球最先進處理器的基底。每一片矽晶圓,都蘊藏著數十億個電晶體,支撐起手機、電腦、自駕車、與AI伺服器的龐大運算需求,也讓台灣一路走來成為全球最重要的「矽島」,掌握世界科技產業命脈。一沙一世界,一花一天堂,如今台灣半導體產業,還真成了繁花盛開的一片風光。
(首圖來源:信越化學)