半導體波前相位成像量測技術業者 Wooptix 宣布，已於法國技術研究機構 CEA-Leti 位於格勒諾布爾的技術研究機構完成首套量產規格 Phemet® 系統安裝，意味系統正式部署於半導體生產應用。
該系統於 2026 年 5 月 4 日正式完成安裝，未來將在工業級半導體無塵室與先進研發試量產環境中，支援雙方針對晶圓尺度製程特徵、奈米表面形貌及先進封裝量測等領域展開合作。
Wooptix 執行長 José Manuel Ramos 表示，透過與 CEA-Leti 合作，得以在高度受控的半導體無塵室環境中驗證 Phemet®，並攜手全球頂尖半導體業者，針對實際製程開發挑戰建立應用驗證成果。這項計畫也進一步鞏固 Wooptix在歐洲重要半導體聚落—法國格勒諾布爾（Grenoble）的布局。
Wooptix 指出，透過這項合作，能在與實際產品及製程高度相關的環境中，直接測試、驗證並持續完善其技術，同時在歐洲最先進的研發設施之一探索新的應用。
CEA-Leti 合作計畫經理 Viorel Balan 指出，與 Wooptix 的合作為因應最前沿的奈米表面形貌量測挑戰開啟了新的可能性。透過Phemet®平台，希望進一步深化對相關製程的理解，支援歐盟研究計畫，並加速下一世代先進封裝技術的研發。
Wooptix 於 2025 年 11 月正式推出 Phemet® 量測系統。該系統能以極高速度及精度執行晶圓形貌與幾何量測，並提供亞奈米級解析能力。隨著半導體產業持續朝向更高效能、更小尺寸及更複雜的元件發展，並導入奈米尺度特徵與新型整合架構，市場對更先進製程控制能力的需求也持續增加。Phemet®正是為回應高產量製造環境中的此項需求而開發。
（首圖來源：科技新報）
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