科林研發推出 Coronus DX 晶邊沉積解決方案,可有效提高製程良率 作者 Atkinson|發布日期 2023 年 06 月 28 日 16:00 | 分類 半導體 , 晶圓 , 材料、設備 | edit 半導體設備廠科林研發(Lam Research)推出 Coronus DX,是業界首款最佳化晶邊沉積解決方案,旨在解決下一代邏輯晶片、3D NAND 和先進封裝應用關鍵製程挑戰。 繼續閱讀..