科林研發推出 Coronus DX 晶邊沉積解決方案，可有效提高製程良率
作者 | 發布日期 2023 年 06 月 28 日 16:00 | 分類 半導體 , 晶圓 , 會員專區 line share Linkedin share follow us in feedly line share
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科林研發推出 Coronus DX 晶邊沉積解決方案，可有效提高製程良率

半導體設備廠科林研發（Lam Research）推出 Coronus DX，是業界首款最佳化晶邊沉積解決方案，旨在解決下一代邏輯晶片、3D NAND 和先進封裝應用關鍵製程挑戰。

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