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蔚華攜手南方科技推非破壞性檢測,預計每年為基板廠節省大量成本

作者 |發布日期 2023 年 11 月 29 日 8:00 | 分類 IC 設計 , 半導體 , 晶圓

半導體測試解決方案專業品牌蔚華科技攜手旗下數位光學品牌南方科技,共同推出業界首創的 JadeSiC-NK 非破壞性缺陷檢測系統,採用先進非線性光學技術對 SiC 基板進行全片掃描,找出基板內部的致命性晶體缺陷,用以取代現行高成本的破壞性 KOH(氫氧化鉀)蝕刻檢測方式,可提升產量並有助於改善製程。若以每個 SiC 晶錠需蝕刻 2 片基板來計算,JadeSiC-NK 可為具有 100 個長晶爐的基板廠省下每年 2.5 億元因蝕刻而損耗的成本。

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