ASML 新一代多光束檢測設備交付客戶，效率較傳統檢測提升 600%

半導體先進製程的檢測又有新進步！荷商半導體設備大廠艾司摩爾（ASML）29 日宣布，已經完成針對 5 奈米以上先進製程節點研發的第一代 HMI 多光束檢測（MBI）系統的整合測試。型號 HMI eScan1000 成功展示了多光束檢測操作，透過 9 條電子束檢測掃描，可檢測較多數量的晶圓。這與目前單個電子束檢查工具相比，eScan1000 因有 9 條電子束，將使作業速度提高多達 600%。