拆解研究二手設備，中國半導體設備技術落後政府補貼難改變

路透社報導，中國政府計劃巨額財政補助計畫，幫助中國半導體產業克服美國的出口管制。但專家表示，中國半導體產業除非打破技術創新落後和價值鏈末端情況，否則單靠資金補貼援助也無法克服美國制裁影響。

2022 年 12 月中國政府實施總計達 1,400 億美元的資金補貼措施，支援半導體產業，包括提供購買國產半導體製造設備提供補貼。號稱擁有先進為應曝光設備技術的上海微電子（SMEE）等中國設備商可能受惠。不過相較歐美廠商，上海微電子技術落後好幾代，靠中國政府資金補貼也無法突破困境。

伯恩斯坦 (Bernstein Research) 研究公司研究，上海微電子等中國製造設備廠商主要銷售給本地廠商。如果沒有與台積電 (TSMC) 和南韓三星等尖端製造設施合作，無法將研發轉為量產，以掌握更先進技術。這使發展難自行解決技術問題，進一步提升價值鏈。且半導體設備產業類似航空業，每台設備成本高昂，設備製造商與客戶密切合作，提供長期服務，包括安裝、調整、維護和維修，這夥伴關係共享技術訣竅，支持兩邊公司技術進步。

▲ 上海微電子 SMEE。

曾在上海微電子等中國製造商工作的人表示，管理團隊沒有有微影曝光設備研發經驗的高層，做出第一台設備是購買二手設備，然後拆解研究，並透過已發表專利和論文製造機器。與 ASML 相較，上海微電子技術落後 20 年，如今只生產了 90 奈米以上成熟生產製程設備。儘管技術落後如此遠，但在中國受高度評價，且 2018 年獲政府嘉獎。但之後上海微電子就沒有太大進展，部分原因是難採購海外設備，且就算上海微電子能生產設備，他們也不知道如何維修與維護。

報導還引用另一家中國半導體設備製造商前高層的說法指出，曾試圖掌握 3D NAND Flash 快閃記憶體的蝕刻技術，但無法取得關鍵技術，只能原地踏步。許多中國半導體產業人士表示，知道自己要什麼，但能力有限。半導體產業策略應該轉變，重點放在下一代半導體製造，而不是高密度半導體與國外公司競爭。這種呼聲近期越來越頻繁。

之前中國科學院的兩名高級研究員發表論文，主張專注新技術和新材料研發，而不是模仿外國技術。2022 年 10 月起美國限制科林研發和應用材料等美國公司出口中國先進半導體製造設備，已孤立中國公司，如果日本和荷蘭也同意美國限制出口，中國企業的處境會更糟。

(首圖來源：shutterstock)