科林研發推世界首台生產導向脈衝雷射沉積機

作者 | 發布日期 2024 年 04 月 09 日 17:00 | 分類 半導體 , 晶圓 , 晶片 line share Linkedin share follow us in feedly line share
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科林研發推世界首台生產導向脈衝雷射沉積機

半導體設備廠科林研發(Lam Research)宣布推出世界第一台以生產為導向的脈衝雷射沉積(Pulsed Laser Deposition,PLD)機,以實現下世代 MEMS 麥克風和射頻(Radio Frequency,RF)濾波器。

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