做為全球最大的晶圓代工廠，台積電的營運消耗了龐大的電力，約占台灣總用電量的 9%。 為了有效降低營運成本，並實現其永續發展目標，台積電於 2025 年 9 月啟動了一項名為「EUV 動態節能計畫」（EUV Dynamic Energy Saving Program），該計畫目的在於大幅削減以高耗電量著稱的極紫外光（EUV）曝光機的功耗。根據最新公布的成果，這項節能措施已顯示出顯著成效。
根據 Tom’s Hardware 的報導，台積電透過強化其晶圓廠級的自動化能力，並結合先進的控制系統，成功達成了能源使用效率的重大突破。這些控制系統能夠根據即時的生產需求，動態調整工具的能源使用。而這項努力的結果的驚人結果，是 EUV 曝光機的最大功耗成功降低了 44%。公司指出，此舉不僅實現了更高效的運作，同時也確保了產出、品質或良率不會受到任何影響。
事實上，台積電多年來一直致力於提高其EUV曝光機的能效。早在 2024 年中期，該公司便曾宣布已成功將其 EUV 曝光機的功耗降低了 24%。不過，當時並未透露具體實施方式。所以，從 2025 年 9 月開始的 EUV 動態節能計畫格外受到重視，預計台積電旗下的 Fab 15B、18A 和 18B 等廠區都開始推動。台積電的目標是在 2025 年底之前，將此計畫全面部署到其全球所有的 EUV 曝光機上。
此外，該公司還計劃將此節能計畫，設定為未來所有新晶圓廠設施的基線要求。例如，亞利桑那州的 Fab 21 第二階段及後續的裝機作業，都將強制採用此動態節能標準。根據台積電估計，從現在到 2030 年，EUV 動態節能計畫將帶來總計 1.9 億度電的電力節約，並減少 10.1 萬公噸的碳排放量。從經濟效益來看，若以每度電新台幣 3.78 元的費率計算，這些電力節約預計可為台積電節省約 2,244 萬美元 (約新台幣 6.72 億元)。
儘管台積電尚未透露 EUV 動態節能計畫的具體技術細節，但可以確定的是，台積電正研究將類似的動態能源控制機制，應用於其他設備的可能性，包括 深紫外光（DUV）曝光機，以及微影部門以外的其他設備。根據推測，該計畫可能涉及實施採用即時操作狀態的自適應功率調整。例如，當晶圓尚未排隊等候立即處理時，EUV 曝光機可以智慧地暫停操作，或切換到低功耗狀態，而不是持續維持全功率運作。要達成這種精細的能源管理，需要整個無塵室的即時數據交換，以及在製程與生產流程層面進行優化。
報導表示，儘管至 2030 年可節省 1.9 億度電聽起來是個可觀的數字，但對於台積電整體的電力消耗而言，這筆節約的電力並不能算是一次大規模的削減。根據 SemiVision 的數據， 2024 年台積電的總電力消耗達到了 255.5 億度電，其中 219.4 億度電來自非再生能源，36.1 億度電來自再生能源。此外，在台積電消耗的總電力中，只有 46.1% 來自實際的晶圓廠工具，而其餘約 53.9% 則消耗於各種支援系統。這顯示出，在追求永續經營的道路上，台積電在降低支援系統耗電量方面仍有廣闊的探索空間。
(首圖來源：shutterstock)
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