Tag Archives: DUV 曝光機

中國科學家開發突破性固態 DUV 雷射光源,可應用半導體製造設備

作者 |發布日期 2025 年 03 月 23 日 18:15 | 分類 中國觀察 , 半導體 , 材料、設備

國際光電工程學會(SPIE)報導,中國科學院(CAS)研究人員成功研發突破性的固態深紫外(DUV)雷射,能發射 193 奈米的相干光(Coherent Light),該波長目前被用於半導體曝光技術。而這項技術已在中國實驗室實現。 繼續閱讀..

荷蘭公布半導體設備管制措施!限制 DUV 曝光機出口到中國

作者 |發布日期 2023 年 06 月 30 日 17:48 | 分類 半導體 , 國際貿易 , 晶片

荷蘭政府今日正式公布最新半導體設備管制措施,要求先進晶片製造設備業者,出口 DUV(深紫外光)曝光機都必須申請許可,雖然相關管制措施沒有提到中國或 ASML(艾司摩爾),但是相當於限制 ASML 的 DUV 曝光機出口到中國,並預計管制措施將在 9 月 1 日生效。

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