Tag Archives: Hyper-NA

EUV 之後會是什麼？ASML 展開 Hyper-NA 時代計畫

作者 TechNews 編輯台|發布日期 2026 年 06 月 18 日 10:40 |

分類公司治理 , 半導體 , 材料、設備

荷蘭晶片設備大廠 ASML 在 SPIE EUVL 2026 說明，強調 EUV 仍是先進製程擴產的重要瓶頸，公司已用 High-NA 推動下階段量產，並提出 Hyper-NA 長期技術藍圖。繼續閱讀..

ASML：High-NA EUV 按時程發展，新世代 Hyper-NA 成本為最大關鍵

作者 Atkinson|發布日期 2022 年 09 月 29 日 15:30 |

分類半導體 , 晶圓 , 晶片

曝光微影設備大廠艾司摩爾 (ASML) 技術長 Martin van den Brink 接受外媒 Bits & Chips 採訪，表示新一代 High-NA EUV 微影曝光設備照時程開發，可能打亂時程就只供應鏈問題。High-NA EUV 下一代 Hyper-NA 微影曝光設備也正開發，成本為關鍵。