日出口管制近一年!韓企量產蝕刻氣體,傳供貨 SK 海力士

作者 | 發布日期 2020 年 06 月 17 日 15:00 | 分類 晶圓 , 晶片 , 材料、設備 Telegram share ! follow us in feedly


日本對銷往南韓的三種半導體原料,實施出口管制將近一年以來,南韓終於成功開發出本土產品。SK Materials 宣布,已經開始量產蝕刻氣體(etching gas),減少對日本關鍵原料的依賴。

韓聯社、Aju Business Daily 17 日報導,SK 集團旗下的 SK Materials,去年在南韓榮州市(Yeongju)興建年產量 15 噸的蝕刻氣體工廠,17 日宣布開始量產高純度蝕刻氣體──氟化氫(hydrogen fluoride),這是生產晶圓的重要原料,可以洗掉製程時晶圓片上堆積的異物。

SK Materials 可能會供貨記憶體大廠 SK 海力士,不過 SK Materials 不願評論。2019 年 7 月,日本加強對三項原料的出口管制,分別是氟聚醯亞胺、光阻劑、蝕刻氣體(高純度氟化氫),都是生產半導體和可撓式面板的關鍵原料。不只如此,日本還把南韓踢出貿易優惠待遇國的名單之外。日韓交惡,南韓業者全力啟動相關原料本土化生產。

蝕刻氣體之外,SK Materials 還打算興建氟化氬光阻劑(ArF photoresist)工廠,預定 2021 年完工、2022 年起每年產量達 5 萬加侖。另外,SKC 準備要生產高階光罩基板(mask blanks),也是半導體的重要原料。

(本文由 MoneyDJ新聞 授權轉載;首圖來源:shutterstock)

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