ASML 柏林廠火災最新:EUV 設備零件產區受影響

作者 | 發布日期 2022 年 01 月 10 日 9:40 | 分類 國際貿易 , 晶圓 , 晶片 Telegram share ! follow us in feedly


荷蘭半導體設備業龍頭艾司摩爾(ASML Holding NV)德國柏林廠 1 月 3 日突傳火警,引起全球關注,根據該公司更新的訊息,初步評估柏林廠受到的影響有限,但極紫外光(EUV)微影設備的部分零件生產區域仍在恢復當中。

ASML 7日發布新聞稿指出,過去幾日進行的初步評估顯示,柏林製造基地一生產線建築有部分遭祝融,冒出的濃煙也部分影響了隔壁棟。這些受影響的建築已順利恢復一些生產作業,柏林廠區的其他建築則未受影響,一直都能正常運作。

ASML仍在持續評估受損情況,目前的檢視結果如下:

  • 計量(Metrology)和檢測(Inspection)產出計畫未受影響,因為使用的零組件並非來自柏林廠。
  • 深紫外光曝光設備(DUV)零件生產已獲重啟。雖然DUV零件受到一些干擾,但ASML應能設法解決問題,不會影響DUV的產出及營收計畫。
  • 關於極紫外光(EUV)微影設備,火災影響了晶圓夾(wafer clamp)一部分生產區域,這是EUV系統的一項模組。ASML還在設法讓這個生產區恢復正常,也在評估要如何調整產出計畫、現場服務(field service),讓EUV客戶可能受到的影響降至最低。

ASML預定2022年1月19日公布第四季和2021年財報,以及2022年的初步展望,屆時也會針對這起意外公布更多細節。

ASML柏林廠主要製造微影系統需要的零組件,當中包括晶圓固定工作台、晶圓夾具、光罩吸盤、反射鏡等。ASML在2020年併購德商Berliner Glas。

根據外媒報導,分析人士直指,若ASML的EUV設備出貨量因為這場火災縮減10%,則可能讓全球微影設備供應量暫時減少8.4%,因為ASML擁有84%的市占率。

台積電ADR 7日終場下挫3.87%、收123.50美元。ASML ADR 7日則下跌0.92%、收756.10美元。

(本文由 MoneyDJ新聞 授權轉載;首圖來源:ASML

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