ASML 柏林廠火災最新：EUV 設備零件產區受影響

荷蘭半導體設備業龍頭艾司摩爾（ASML Holding NV）德國柏林廠 1 月 3 日突傳火警，引起全球關注，根據該公司更新的訊息，初步評估柏林廠受到的影響有限，但極紫外光（EUV）微影設備的部分零件生產區域仍在恢復當中。

ASML 7日發布新聞稿指出，過去幾日進行的初步評估顯示，柏林製造基地一生產線建築有部分遭祝融，冒出的濃煙也部分影響了隔壁棟。這些受影響的建築已順利恢復一些生產作業，柏林廠區的其他建築則未受影響，一直都能正常運作。

ASML仍在持續評估受損情況，目前的檢視結果如下：

計量（Metrology）和檢測（Inspection）產出計畫未受影響，因為使用的零組件並非來自柏林廠。
深紫外光曝光設備（DUV）零件生產已獲重啟。雖然DUV零件受到一些干擾，但ASML應能設法解決問題，不會影響DUV的產出及營收計畫。
關於極紫外光（EUV）微影設備，火災影響了晶圓夾（wafer clamp）一部分生產區域，這是EUV系統的一項模組。ASML還在設法讓這個生產區恢復正常，也在評估要如何調整產出計畫、現場服務（field service），讓EUV客戶可能受到的影響降至最低。

ASML預定2022年1月19日公布第四季和2021年財報，以及2022年的初步展望，屆時也會針對這起意外公布更多細節。

ASML柏林廠主要製造微影系統需要的零組件，當中包括晶圓固定工作台、晶圓夾具、光罩吸盤、反射鏡等。ASML在2020年併購德商Berliner Glas。

根據外媒報導，分析人士直指，若ASML的EUV設備出貨量因為這場火災縮減10%，則可能讓全球微影設備供應量暫時減少8.4%，因為ASML擁有84%的市占率。

台積電ADR 7日終場下挫3.87%、收123.50美元。ASML ADR 7日則下跌0.92%、收756.10美元。

（本文由 MoneyDJ新聞授權轉載；首圖來源：ASML）