曝光技術大進展！三星稱關鍵材料 EUV 光罩護膜「透光率達 90%」
作者 | 發布日期 2023 年 12 月 04 日 16:27 | 分類 半導體 , 晶圓 , 會員專區 line share Linkedin share follow us in feedly line share
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曝光技術大進展！三星稱關鍵材料 EUV 光罩護膜「透光率達 90%」

三星電子在 EUV 曝光技術取得重大進展，韓媒 Business Korea 報導，三星電子 DS 部門研究員 Kang Young-seok 表示，三星使用的 EUV 光罩護膜（EUV pellicles）透光率（transmission rate）已達 90%，計劃再提高至 94-96%。

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