三星電子在 EUV 曝光技術取得重大進展,韓媒 Business Korea 報導,三星電子 DS 部門研究員 Kang Young-seok 表示,三星使用的 EUV 光罩護膜(EUV pellicles)透光率(transmission rate)已達 90%,計劃再提高至 94-96%。 繼續閱讀..
曝光技術大進展!三星稱關鍵材料 EUV 光罩護膜「透光率達 90%」 |
作者 林 妤柔|發布日期 2023 年 12 月 04 日 16:27 | 分類 半導體 , 晶圓 , 材料、設備 |