
中國科學技術協會(CAST)最近列出中國半導體產業面臨的挑戰,但沒列到曝光技術。業界認為,排除曝光技術更像政治考量,以淡化美國制裁對中國本土晶片製造業的影響,而不是讓中國曝光設備創新。
中國領導人習近平曾對荷蘭首相說道,中國不需要先進的曝光設備製造商 ASML 推動技術發展。目前中國上海微電子(SMEE)和北方華創目標是 2024 年 4 月首次開發曝光設備。
然而,在整個半導體製造過程中,中國晶片製造設備國產化率僅 20%、市占率不到 1%。相比之下,ASML 的全球市占率高達 93%。
EUV 曝光設備是製造下一代晶片的關鍵,即使中國公司在美國制裁前已獲得這些設備,但仍需要後續維護和保養,但美國禁令又斷掉這個路線,因此這些正在使用中的曝光設備最終也會停止運作。
除非中國在曝光設備產業取得重大突破,否則在先進製程會面臨許多障礙,部分產業領導者已經要求他們的公司專注於傳統晶片和 3D 封裝,而不是試圖繼續走先進製程。
目前許多公司仍努力避開華盛頓的制裁,如華為正在建立一個重要的曝光和晶圓廠設備研發中心,其他中國公司也在嘗試 RISC-V 等開放標準技術。但從現況看,中國需要數年、甚至數十年的研發,才能趕上主流曝光機製造商。
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