比利時微電子研究中心（imec）已成功展示利用 ASML 最先進的極紫外光（EUV）微影設備，實現晶圓級規模的奈米孔製作技術。ASML 傳播主管形容，由於奈米孔在分子感測領域展現的巨大潛力，這是 ASML 設備「出乎意料卻非常令人驚豔的生醫應用」。
奈米孔是極其微小的孔洞，直徑僅有數奈米，孔洞尺寸約比人類頭髮細 1 萬倍。奈米孔可用於生醫感測器，關鍵在於分子與孔洞互動的方式，其偵測原理包括將量測流經奈米孔的離子電流；當分子通過孔洞時，會造成電流變化，進而揭示其尺寸、結構、電荷與相互作用；不同分子會呈現各自獨特的電性特徵，因此能以高靈敏度進行辨識。
透過這種方式，由 EUV 製程打造的奈米孔可作為生醫感測中的「分子檢查點」，用來偵測並辨識病毒、蛋白質、DNA 等單一分子，對精準的分子鑑定與分析極具價值。此外，imec 也指出，透過調整固態奈米孔的尺寸，還可應用於過濾與分子資料儲存等領域。
目前的奈米孔製造方法被認為速度緩慢、僅限於實驗室規模，且成本高昂。imec 在論文中指出，他們已成功在整片 300mm 晶圓上，製作出直徑最小約 10 奈米、且高度均勻的奈米孔，這項突破可兼顧量產力、精準度與重複性，有望終結奈米孔感測器在實際應用上長期推廣的瓶頸。
- Imec demonstrates first wafer-scale fabrication of solid-state nanopores using EUV lithography
- Surprising biomedical application found for ASML’s chipmaking EUV lithography machines — they can mass produce nanopores for molecular sensing
（首圖來源：imec）
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