提升車用晶片良率、可靠性,KLA 全新檢測設備齊出籠 作者 侯 冠州 | 發布日期 2021 年 06 月 23 日 17:21 | 分類 晶圓 , 晶片 , 會員專區 | edit 為提升車用晶片良率及可靠性,半導體設備業者 KLA 宣布推出四款用於汽車晶片製造的全新設備,分別是 8935高產能圖案晶圓檢測系統、C205 寬帶等離子圖案晶圓檢測系統、Surfscan SP A2/A3 無圖案晶圓檢測系統,以及 I-PAT 線上缺陷部件平均測試篩選解決方案。 從這裡可透過《Google 新聞》追蹤 TechNews 科技新知,時時更新 科技新報粉絲團 加入好友 訂閱免費電子報 關鍵字: DUV 光學系統 , KLA , 無圖案晶圓檢測儀 , 車用晶片