檢測 IC 半導體製程必不可少的精密儀器，材料分析技術一日千里 |
作者
TechNews|發布日期
2023 年 05 月 24 日 9:00 |
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穿透式電子顯微鏡 （Transmission Electron Microscope, TEM）是觀察微小結構及原子排列的最常用分析方法。隨著 IC 半導體 (Semiconductor) 的發展，車用鋰 （Li）電池、量子電腦 (Quantum Computer)、第四代 III-V 族化合物半導體、二維材料如石墨烯 （Graphene） 等新材料的分析需求與日俱增，提高電子顯微鏡所具備的解析度也成為當務之急。
最新 TEM 自動量測技術，助 2nm 製程不卡關 |
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作者
TechNews|發布日期
2023 年 04 月 13 日 9:00 |
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當半導體製程不斷微縮至 2nm，如何快速且精準量測參數，取代不足以應付工程需求的傳統量測方式，加速製程開發呢？
