北京以反壟斷要脅?SK 海力士無錫廠斥資引進 DUV 設備

作者 | 發布日期 2019 年 01 月 02 日 13:45 | 分類 晶圓 , 材料、設備 , 記憶體 follow us in feedly

美國對中國記憶體廠商福建晉華發布禁售令,重創北京的半導體美夢,中國當局或許打算另闢蹊徑,強化半導體產業。近來南韓記憶體大廠 SK 海力士(SK Hynix),在中國無錫廠引進了 DUV(deep ultraviolet,深紫外光)光刻設備。南韓媒體揣測,中國對南韓記憶體業者啟動反壟斷調查,南韓廠或許被迫引進高科技設備討好北京當局,以免慘遭修理。



南韓媒體 BusinessKorea 2 日報導,2018 年 12 月 SK 海力士在中國無錫廠舉行 DUV 設備的導入典禮,將用來生產 DRAM。新設備是荷蘭半導體微影設備商艾司摩爾(ASML)的「NXT2000i」,一台要價數千萬到數億美元之間,這是 ASML NXT2000i 首次引進中國。ASML 不向中國販售最新設備。

DUV 沒有 EUV(極紫外光)先進,但是 ASML 說,裝設在無錫廠的 NXT2000i 是最新機型,能把曝光過程的錯誤減到最低,並且能和最先進的 EUV 設備 NXE3400B 共同使用、創造綜效。外界猜測,SK 海力士未來也許有意在無錫廠導入 EUV 設備。不過 SK 海力士高層表示,目前 EUV 設備主要用於生產系統半導體,在無錫廠採用 EUV 生產記憶體還言之過早。

有些分析師指出,SK 海力士在中國引入高科技設備,與中國當局的反壟斷調查有關。去年底,北京放話說,三星電子、SK 海力士、美光的反壟斷調查,出現實質進展,最多可能處以 80 億美元的罰款。不只 SK 海力士害怕遭課天價罰金,三星也緊張。分析師說,三星電子關閉了天津的智慧手機工廠,但為了和中國政府維持良好關係,三星集團的 Samsung SDI 和三星電機(Samsung Electro-Mechanics)都加強對中國投資。

(本文由 MoneyDJ新聞 授權轉載;首圖來源:SK 海力士

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