日本對銷往南韓的三種半導體原料，實施出口管制將近一年以來，南韓終於成功開發出本土產品。SK Materials 宣布，已經開始量產蝕刻氣體（etching gas），減少對日本關鍵原料的依賴。
韓聯社、Aju Business Daily 17 日報導，SK 集團旗下的 SK Materials，去年在南韓榮州市（Yeongju）興建年產量 15 噸的蝕刻氣體工廠，17 日宣布開始量產高純度蝕刻氣體──氟化氫（hydrogen fluoride），這是生產晶圓的重要原料，可以洗掉製程時晶圓片上堆積的異物。
SK Materials 可能會供貨記憶體大廠 SK 海力士，不過 SK Materials 不願評論。2019 年 7 月，日本加強對三項原料的出口管制，分別是氟聚醯亞胺、光阻劑、蝕刻氣體（高純度氟化氫），都是生產半導體和可撓式面板的關鍵原料。不只如此，日本還把南韓踢出貿易優惠待遇國的名單之外。日韓交惡，南韓業者全力啟動相關原料本土化生產。
蝕刻氣體之外，SK Materials 還打算興建氟化氬光阻劑（ArF photoresist）工廠，預定 2021 年完工、2022 年起每年產量達 5 萬加侖。另外，SKC 準備要生產高階光罩基板（mask blanks），也是半導體的重要原料。
（本文由 MoneyDJ新聞 授權轉載；首圖來源：shutterstock）
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