加州大學聖塔芭芭拉分校(UCSB)團隊在《Applied Physics Letters》發表研究,開發出利用電化學蝕刻(electrochemical etching)的「剝離技術(lift-off method)」,能在不損晶體的情況下,將氮化鎵(GaN)等氮化物材料從藍寶石基板分離並轉移至矽。這項技術可降低製程應力,並為 μLED、柔性光電與異質封裝開啟新整合途徑。 繼續閱讀..
電化學剝離法新突破,為光電與異質整合開新路 |
作者 蘇 子芸|發布日期 2025 年 10 月 13 日 16:15 | 分類 半導體 |