向 ASML 訂購 DUV 曝光設備遲未到貨,中芯國際擴產計畫前景堪慮

作者 | 發布日期 2021 年 11 月 09 日 6:00 | 分類 國際觀察 , 國際貿易 , 材料、設備 Telegram share ! follow us in feedly


雖然曝光設備龍頭艾司摩爾 (ASML) 表示,除了極紫外光曝光設備 (EUV) 其他設備都可賣給中國客戶,但中國最大晶圓代工商中芯國際延長的採購協議日期將在年底到期,之前訂購的深紫外光曝光設備 (DUV) 仍未出貨,外界認為,不論零組件缺貨或其他政治因素,中芯國際訂單恐將落空。

中國媒體指出,2021 年上海進口博覽會 ASML 再度參展,全球副總裁、中國區總裁沈波對曝光設備銷售狀況表示,出口中國曝光設備採開放態度,法律規範下全力支持。但 EUV 還是無法出貨給中國客戶,除此之外其他產品都可出貨,表示 DUV 不受限制。

從 ASML 表態看,EUV 解禁還有很高的難度。中芯國際 3 年前就花費 1.5 億美元向 ASML 訂購一套 EUV,原應在 2019 年初交貨,但因國際法令限制,ASML 拿不到許可下仍未交貨。

今年 3 月初,中芯國際宣佈和 ASML 簽訂延長採購協議至年底,協議總價為 12 億美元。照產品金額算,可購買不少 DUV,對中芯國際今年計畫在北京、上海、深圳等地擴產成熟製程來說,DUV 為擴產計畫最為重要設備,但中芯國際跟 ASML 續簽的 DUV 訂單至今還未到貨。隨著採購協議最後期限將近,外界評估這筆訂單大概會跳票,阻礙中芯國際擴產計畫。

據沈波說法,DUV 出貨應不受政治問題限制,遲遲無法交貨的原因是,全球晶片短缺導致曝光設備需求提升,ASML 已盡力擴產還不能滿足用戶需求。另牽涉到幾千家配套供應商,卻只能提供 85% 零組件,有些產品交貨時間甚至翻倍。

另一方面,中芯國際宣佈與 ASML 達成大量設備採購延長協議後,美國國會議員聯合致信美國商務部長,表示基於美國國家安全,要求拜登政府勸說荷蘭政府阻止 ASML 出售 DUV 給中芯國際,還要與盟國達成協議,統一出口限制和許可權,限制 DUV 和 EUV 等技術出售。或許訂單積壓是中芯國際 DUV 訂單未如期交貨的原因之一,但背後是否有其他因素仍不得而知。

(首圖來源:ASML)