EUV 光罩市場領導廠商 IMS，台積電買股權引三星關切

南韓媒體報導，台積電 12 日臨時董事會決議，以不超過 4.328 億美元 (約新台幣 138.5 億元)，自英特爾取得 10% 地利半導體設備商 IMS 股權。因 IMS 領導全球 EUV 微影曝光設備光罩市場，台積電收購股權自然引起三星關切。

韓媒 BusinessKorea 報導，台積電收購 IMS 股權讓南韓業界震撼，因 IMS 是 EUV 微影曝光設備光罩市場領導廠商，市占率高達 98%。英特爾 2009 年初步投資後，2016 年更收購 IMS。2022 年 6 月英特爾出售約 20% 股份給私募股權企業貝恩資本 (Bain Capital)。

IMS 的「多光束光罩寫入設備」可精確快速生產光罩，韓媒訪問南韓市場人士，如果沒有 IMS 設備，ASML 的 EUV 微影曝光設備將毫無用處，台積電這決定似乎是對準 ASML 下一代 High-NA EUV 微影曝光設備。微影曝光設備對 7 奈米以下先進製程扮演重要角色，台積電尋求供應鏈更穩固合作也不意外。

三星 2012 年斥資約 7,000 億韓圜收購 EUV 微影曝光設備大廠艾司摩爾 (ASML) 3% 股權，強化微影曝光設備開發。2016 年三星將 ASML 股權售出一半為投資回報，截至 2023 年第二季末，三星僅保留 0.7% ASML 股權。三星表示兩家合作不受影響。

但 2 奈米先進製程競爭不斷升溫，台積電 2022 年 6 月宣布準備 2 奈米試產，追趕的三星計劃以 GAA 架構先用 2 奈米超越台積電。加上英特爾和日本 Rapidus 先後加入 2 奈米競賽，市場將會非常激烈。台積電能否藉投資 IMS 持續占優勢，與三星及其他對手維持距離，南韓半導體界都很關切。

(首圖來源：科技新報攝)