穿透式電子顯微鏡 (TEM) 是半導體材料開發和晶片製造流程中使用的關鍵工具之一。根據《南華早報》報導，2022 年中國花費數億美元從海外公司購買穿透式電子顯微鏡。如今，由於中國 Bioland 實驗室已經開發出了自己的穿透式電子顯微鏡，這使得中國將不需要再對外採購這項設備。
穿透式電子顯微鏡在半導體產業中至關重要，因為它們廣泛用於材料分析和品質控制。根據報導，Bioland 實驗室研發的 TH-F120 號稱是一款最先進的穿透式電子顯微鏡。其配備的電子槍可產生比中國境外製造的 TEM 更明亮、更穩定的光源。此外，TH-F120 還可以提供高解析度的成像功能，這對於生產半導體的材料科學研究非常關鍵。
特別的是，穿透式電子顯微鏡可以讓科學家能夠在原子層上檢查半導體材料，進而深入了解其結構和成分。這種分析能力對於理解和提高半導體裝置的性能、功率、電晶體密度和良率非常重要。因為藉由分辨雜質、結構缺陷和層沉積等問題，穿透式電子顯微鏡可以確保達到低缺陷密度，以及最終商業畫可接受的品質方面發揮重要的作用。
而根據《廣州日報》報導，2022 年中國企業花費 4.16 億美元購買了 300 套穿透式電子顯微鏡。因此， Bioland 實驗室的發展代表著中國在尋求半導體自力更生、減少對外國產品的依賴，以及將中國定位為此類先進科學設備全球市場的潛在關鍵提供商方面邁出的重要一步。
雖然整個情況對中國半導體產業來說，看起來是相當正面的，但是應該注意到一件重要的事情，那就是現在還不清楚由中國研發的穿透式電子顯微鏡性能如何。2022 年，中國斥資 4.16 億美元購買穿透式電子顯微鏡，可用於增強中國本土晶圓代工廠中芯國際的第二代 7 奈米製程技術的良率，甚至可能突破 5 奈米製程技術的障礙。而中國研發的穿透式電子顯微鏡是不是也能達到這樣的性能，就有待後續觀察。
(首圖來源：shutterstock)
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