英特爾 24 日表示,ASML 首批的兩台先進曝光機已投產,早期數據顯示比之前機型更可靠。 繼續閱讀..
英特爾:首批兩台 High-NA EUV 設備已投產,初期數據表現良好 |
| 作者 林 妤柔|發布日期 2025 年 02 月 25 日 9:42 | 分類 半導體 , 晶圓 , 材料、設備 |
ASML 預定 2030 年供應 Hyper-NA EUV,能否商業化關鍵就是成本 |
| 作者 Atkinson|發布日期 2024 年 06 月 14 日 15:30 | 分類 半導體 , 晶圓 , 晶片 | edit |
荷蘭商艾司摩爾 (ASML) EUV 曝光機為先進半導體生產關鍵,ASML 有序執行藍圖,首階段是標準 EUV 後迎接 High-NA EUV,去年底 ASML 就交貨英特爾首套 High-NA EUV。ASML 上週又證實,年底交貨台積電 High-NA EUV。半導體業剛準備邁入 High-NA EUV 時代,ASML 又開始研究下代機台 Hyper-NA EUV,尋找合適解決方案。
