應用材料公司 Producer 平台出貨量高達 5,000 台

作者 | 發布日期 2018 年 07 月 04 日 14:17 | 分類 市場動態 , 晶片 , 材料、設備 follow us in feedly

應用材料公司近日歡慶 Producer 平台 20 週年紀念,出貨量高達 5,000 台;這套製造系統協助製造全球幾乎所有晶片。



Producer 平台於 1998 年 7 月推出,藉由將晶片的金屬層配線由鋁改為更理想的導體──銅,協助晶片加快執行速度。這項轉變能協助業界提升並改善與摩爾定律有關的效能及功耗,然而其中也需要許多額外步驟,可能導致其成本過高而難以負擔。為了提供協助,應用材料公司致力精進 Producer 平台每項要素,讓客戶能以最低的營運成本享有最高效能。

自此 Producer 平台成為業界主力,承擔更多工作任務,協助摩爾定律的推動,並促使諸如筆記型電腦、智慧型手機及可穿戴電子裝置等的電子產品更加普及。

VLSI 研究公司執行長 G. Dan Hutcheson 表示:「應用材料公司推出劃時代的 Producer 平台,以此規模實現前所未見的成果:建立能支援多代技術的高度彈性架構,並仍維持驚人的生產力。現今Producer 平台持續協助晶片製造商以全新方式構想及打造晶片。恭賀應用材料公司對半導體產業推出最重要的製程系統之一,達成令人印象深刻的里程碑。」

整合式製程的平台

Producer 平台原先是專為執行化學氣相沉積的單一製程系統,並成為業界標竿。這些年來,應用材料公司不斷擴大平台的技術功能,包括蝕刻、選擇性移除及薄膜處理技術。現今愈來愈多材料瀕臨傳統摩爾定律微縮的物理極限。有鑑於此,應用材料公司跳脫元素週期表,率先發展之前很難使用卻有助於持續改進晶片效能與功率的全新材料。Producer 平台正突破新挑戰,現今這平台可當作一套整合式製程平台,也就是在同一套真空系統,提供諸如沉積與薄膜處理、沉積與蝕刻,或是沉積與選擇性移除的多種組合。

Producer 相關數據

  • 目前可支援從 180 奈米到 5 奈米的 10 個技術節點。
  • 20 年來協助推動各項業界技術轉折,包括銅、應變工程、高介電金屬閘極、FinFET 及 3D NAND。
  • Producer 平台處理過的矽晶圓可達 19 億平方公尺,面積相當於 30 個美國紐約曼哈頓大小。