SK 海力士 M16 工廠發生化學品外洩,3 名工人送醫但不影響生產

作者 | 發布日期 2021 年 04 月 07 日 13:00 | 分類 公司治理 , 國際貿易 , 晶圓 Telegram share ! follow us in feedly


根據南韓媒體 《Ddaily》 的報導,南韓記憶體大廠 SK 海力士 (SK-Hynix) 旗下位在京畿道利川市的 M16 晶圓廠發生在 6 日了化學品外洩事件,過程中導致 3 名工人受傷。不過,3 名受傷工人在送醫後並無大礙,而且晶圓廠產線的生產也沒有受到影響。

根據報導,發生化學品外洩事件的是 SK 海力士位於南韓京畿道利川市的 M16 工廠。而化學品外洩事件發生在這一工廠的 5 樓,洩漏的是氫氟酸 (Hydrogen Fluoride,HF)。據了解,氫氟酸是半導體生產過程中重要的材料,其無色的水溶劑卻有極強的腐蝕性,氫氟酸因可溶解矽石,因此廣泛被用於半導體晶片製作的浸蝕與清洗工作上。

而本次發生氫氟酸外洩事件的 M16 工廠,是 SK 海力士剛剛建成的一座新工廠。根據 SK 海力士官網的資訊顯示,M16 工廠在 2018 年的 11 月動工,總投資金額達 3.5 兆韓圜,歷時 2 年建成,在 2021 年 2 月 1 日舉行了完工典禮。而在 M16 工廠完成興建之後,將主要用於生產 DRAM 產品。另外,作為 SK 海力士針對未來市場需求的重要工廠,M16 工廠還引進了極紫外光曝光機 (EUV) 進入產線當中,這是 SK 海力士首次引進這一類設備。

報導進一步強調,目前 M16 工廠正在進行最後一批生產設備的裝機與測試工作,以準備在 2021 年下半年的正式量產。也因為這樣的情況,可能因此造成了本次的化學品外洩事件。而 3 名受傷的工人,一名遭化學品灼傷手臂及腿部,另兩名則是有吸入性的灼傷清況。在被送醫急救之後,目前已無大礙。而真正的化學品洩漏原因,SK 海力士與南韓相關單位也正在調查當中。

(首圖來源:Flickr/Kimber Jakes CC BY 2.0)