歐洲首套 EUV 設備登場，英特爾愛爾蘭 Fab 34 量產 Intel 4 製程

英特爾 (Intel) 宣佈，愛爾蘭 Fab 34 晶圓廠完成 EUV（極紫外光）微影曝光設備安裝測試，正常開機，即將量產 Intel 4 製程。

英特爾 29 日將舉行活動，慶祝 Intel 4 量產，執行長 Pat Gelsinger、技術開發總經理 Ann Kelleher 和營運長 Keyvan Esfarjani 等高層都會參加。英特爾會介紹如何透過 EUV 生產和交貨，提供人工智慧（AI）處理器至個人電腦，再到大型資料中心各類處理器。

2022 年 4 月英特爾 Fab 34 完成第一套 EUV 微影曝光設備安裝，是歐洲首座具 EUV 微影曝光技術的晶圓廠。約 100 多名 ASML 工程師至 Fab 34 協助安裝，同時英特爾也從美國派出工程師培訓 Fab 34 員工如何使用 EUV。之前英特爾向 ASML 訂購多套 EUV，第一套就是裝在 Fab 34。

愛爾蘭 Fab 34 於 2019 年動工，今年投產。英特爾曾表示愛爾蘭廠是全球晶圓廠擴建計畫的一部分，為了滿足全球半導體迅速成長需求，也為英特爾 Intel 4 量產鋪路。英特爾計畫以 Fab 34 的 Intel 4 生產 Meteor Lake 和 Granite Rapids 等處理器。

(首圖來源：英特爾)