台積電 EUV 經驗豐富力壓對手,創新降低 EUV 功耗達 24%

作者 | 發布日期 2024 年 05 月 21 日 15:50 | 分類 半導體 , 晶圓 , 材料、設備 line share follow us in feedly line share
台積電 EUV 經驗豐富力壓對手,創新降低 EUV 功耗達 24%


儘管台積電不是第一家使用極紫外線 (EUV) 微影的晶圓廠,第一頭銜為韓國三星拿下,但可確定台積電仍是全世界 EUV 用量最大代工廠。台積電多年來累積豐富 EUV 經驗,改善 EUV 工具,提高效率與產能,並降低成本。台積電年度技術論壇歐洲場詳細說明。

外媒報導,台積電 2019 年開始 N7+ 製程改用 EUV 生產,當時台積電的 EUV 設備占全球市場 42%。即使 ASML 2020 年增加 EUV 出貨量,台積電的 EUV 還佔全球 50%。今年台積電 EUV 比 2019 年增加十倍,雖三星和英特爾都在提高 EUV 產能,但台積電仍占全球 EUV 總數 56%。可說台積電很早就決定大規模使用 EUV。

台積電 EUV 生產晶圓量增幅,比 EUV 擁有數更大,台積電以 EUV 生產晶圓量是 2019 年 30 倍。顯然都透過台積電開發的創新技術。

台積電 2019 年以來,透過 EUV 生產晶圓產能提高兩倍,還大幅改善 EUV 光罩,壽命提高四倍,光罩產量提高 4.5 倍,並缺陷率大幅降低 80 倍。雖 EUV 耗電量驚人,但台積電設計未公開節能技術,將 EUV 功耗降低 24%。台積電還計劃 2030 年每套 EUV 每片晶圓生產能效提高 1.5 倍。

考慮到台積電已用標準型 EUV 達成所有製程改進,有信心繼續生產尖端晶片。儘管對手英特爾 Intel 18A 以下節點全力採用 Hgih NA EUV,反觀台積電,經過時間考驗的標準型 EUV 推動先進製程發展,避免陷入過快轉換製程的成本陷阱,同時也獲成熟技術效益。

(首圖來源:台積電)

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