紀念性一刻!ASML 最新 High-NA EUV,成功印首條 10 奈米密集線

作者 | 發布日期 2024 年 04 月 18 日 16:28 | 分類 半導體 , 會員專區 , 材料、設備 line share Linkedin share follow us in feedly line share
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紀念性一刻!ASML 最新 High-NA EUV,成功印首條 10 奈米密集線

ASML 宣布首款 0.55 數值孔徑(High-NA)EUV 曝光設備已列印出第一個圖案。最新貼文,High-NA EUV 系統成功列印出第一條 10 奈米密集線(dense lines)。

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