2023 年 10 月,日本曝光機大廠佳能(Canon)公布採用奈米壓印技術(NIL)的曝光設備 FPA-1200NZ2C,預計為小型半導體製造商在生產先進晶片開闢了一條新的途徑。近日,佳能負責新型曝光機開發的高層武石洋明接受了媒體的採訪表示,FPA-1200NZ2C 會在 2024 年至 2025 年間出貨。
佳能奈米壓印設備最快 2024 年出貨,能否解套中國引關注 |
作者 Atkinson|發布日期 2024 年 02 月 05 日 7:00 | 分類 半導體 , 材料、設備 |