英特爾宣布完成業界首台商用高數值孔徑曝光機(High NA EUV)組裝,外界好奇台積電看法,近日台積電業務開發資深副總經理張曉強表示,台積電 A16 製程不一定要用艾司摩爾(ASML)High-NA EUV。 繼續閱讀..
英特爾砸大錢買了,為何台積電 A16 製程不必用 High-NA EUV 設備? |
作者 林 妤柔|發布日期 2024 年 05 月 16 日 11:39 | 分類 半導體 , 晶圓 , 材料、設備 |