英特爾砸大錢買了，為何台積電 A16 製程不必用 High-NA EUV 設備？
作者 | 發布日期 2024 年 05 月 16 日 11:39 | 分類 半導體 , 晶圓 , 會員專區 line share Linkedin share follow us in feedly line share
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英特爾砸大錢買了，為何台積電 A16 製程不必用 High-NA EUV 設備？

英特爾宣布完成業界首台商用高數值孔徑曝光機（High NA EUV）組裝，外界好奇台積電看法，近日台積電業務開發資深副總經理張曉強表示，台積電 A16 製程不一定要用艾司摩爾（ASML）High-NA EUV。

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