ASML 南科 EUV 技術培訓中心揭幕,斥資 4.7 億元每年訓練 360 名工程師

作者 | 發布日期 2020 年 08 月 20 日 17:45 | 分類 晶圓 , 晶片 , 材料、設備 Telegram share ! follow us in feedly


全球半導體微影技術廠商艾司摩爾(ASML)今日舉行「EUV(極紫外光)全球技術培訓中心」開幕典禮。培訓中心坐落台南科學園區,占地 1,625 平方公尺,配備實機模組(live module),提供技術理論課程和無塵室實機操作課程等多元化培訓內容,總投資金額達 1,350 萬歐元(約新台幣 4.74 億元)。目前配置 14 位講師,估計每年可提供數千小時課程,為 ASML 和客戶培育 360 位 EUV 技術工程師。培訓中心設立後,ASML 在台灣的研發團隊人數也預計 3 年內由原本 280 人提升至 500 人。

ASML 全球副總裁暨台灣區總經理陳文光表示,感謝南科管理局、相關政府單位與客戶及夥伴的支持與協助,ASML EUV 全球技術培訓中心落成可為半導體產業提供更完整的服務,使 ASML 與全球半導體產業及客戶共同成長。

ASML 指出,自 2010 年提供第一台 EUV 微影設備原型機給台積電進行研發開始,就為全球微影技術開創新紀元。2017 年,ASML 再交付第一台量產型 EUV 微影系統 TWINSCAN NXE:3400 給台積電,寫下商用 EUV 製程技術的新里程。至今台灣 EUV 裝機規模領先全球,ASML 在台南成立 EUV 全球技術培訓中心,不僅使公司的台灣營運和服務項目更多樣化,更實現全力支援客戶先進製程開發與量產的承諾。

ASML 指出,將新手工程師培育成技術熟稔、可獨自作業的 EUV 工程師需歷經 18 個月訓練。過去全球 EUV 工程師即使只負責部分專業技術,都必須前往 ASML 荷蘭總部接受長達數月的培訓。隨著新冠肺炎疫情為全球差旅工作增添許多限制與不確定性,位於台南的 EUV 全球技術培訓中心就為台灣 ASML 與客戶提供相對安全且經濟的培訓方式。ASML 也在南韓設有 EUV 技術培訓中心,為新進工程師提供 EUV 基礎訓練課程,以滿足與日俱增的客戶需求。

ASML 是台灣半導體產業與客戶的重要策略夥伴。自 1988 年交付第一台微影系統予台灣客戶後,2003 年正式在新竹成立台灣總部辦公室,就近提供客戶技術支援服務,爾後逐步擴大在台營運,至今在林口、新竹、台中、台南都設有客戶支援辦公室,並於林口和台南設立工廠。林口廠負責機台翻修、光罩傳輸(Reticle Handler)模組生產與 YieldStar 光學量測設備生產,台南廠則專注於電子束(ebeam)和多光束(multi-beam)檢測設備製造。ASML 台灣員工約 2,800 人,並持續伴隨台灣半導體產業共同成長。

目前使用 ASML 的 EUV 設備最多的晶圓代工龍頭台積電,晶圓廠營運副總經理王英郎表示,台積電與 ASML 進行 EUV 設備合作長達 10 年,是最緊密的合作夥伴。目前最先進製程打造的晶片必須在人類指甲大小的晶片,放入最多 100 億個電晶體,意味著每個電晶體僅手上細菌的千分之一。要在如此小的面積內植入為數眾多且精細的電晶體,就必須依賴 EUV 設備。近來晶片植入的電晶體數能短短數年從 1 億個發展到 100 億個,都要非常感謝 ASML 開發的設備,讓摩爾定律得以延續。

王英郎進一步指出,因為 EUV 是先進製程的重要關鍵,所以台積電斥巨資購買,人員操作讓 EUV 能發揮最大的功效就極其重要。過去台積電每年要派遣相關人員到荷蘭 ASML 總公司受訓,一次訓練就必須耗費 4~7 週,不僅花費大量差旅費用,且因訓練能量有限,參與名額也有限。如今,ASML 在兩年前了解台積電的需求,來台設立 EUV 技術培訓中心後,不僅增加培訓能量,還使台積電與 ASML 更緊密合作,使台積電先進製程發展有更多助益。至於未來台積電至美國建設 5 奈米廠,雙方合作會否比照辦理,王英郎不表示任何意見。

(圖片來源:科技新報攝)