EUV 設備每台重量高達 180 公噸,每次運輸必須動用 3 架次貨機

作者 | 發布日期 2019 年 06 月 06 日 15:45 | 分類 國際貿易 , 晶圓 , 會員專區 Telegram share ! follow us in feedly
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晶圓製造產業進入 7 奈米製程之後,目前全世界僅剩台積電與三星,再加上號稱自家 10 奈米製程優於競爭對手 7 奈米製程的英特爾等,有繼續開發能力之外,其他競爭者因須耗費大量金錢與人力物力的情況下,都已宣布放棄。就在 7 奈米製程節點以下先進製程的領域,必不可少的關鍵就是極紫外線微影(EUV)設備導入。除了三星用在首代 7 奈米 LPP 製程,台積電也自 2019 年開始,將 EUV 導入加強版 7 奈米+ 製程。