ASML 第三代標準 EUV 曝光機問世，每套價格約 1.8 億美元
作者 | 發布日期 2024 年 03 月 18 日 18:45 | 分類 半導體 , 晶圓 , 晶片 line share Linkedin share follow us in feedly line share
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ASML 第三代標準 EUV 曝光機問世，每套價格約 1.8 億美元

外媒報導，曝光機大廠艾司摩爾 (ASML) 交貨第三代標準型極紫外（EUV）曝光機，新設備型號為 Twinscan NXE:3800E，0.33 數值孔徑透鏡，較舊型號 Twinscan NXE:3600D 的標準型曝光機，性能提高，支援幾年內 3 奈米及 2 奈米晶片製造。

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