台積電復機逾 8 成、世界先進逐恢復生產作業，廠商最新進度一次看

台灣 3 日發生芮氏規模 7.2 有感地震，目前晶圓廠設備、廠務和供應商都在清明連假日夜搶修，以恢復設備運作，目前更新各廠和各地科技園區的最新進度。

台積電

台積電指出，3 日地震在新竹、龍潭和竹南等科學園區最大震度為 5 級，台中和台南科學園區的最大震度為 4 級。晶圓廠設備的復原率更已超過 80%，新建的晶圓廠（如負責生產 3、5 奈米的晶圓十八廠）預計在 4 日當晚皆可完全復原。

雖然部分廠區的少數設備受損並影響部分產線生產，主要機台包含所有 EUV 曝光機皆無受損，而在處於震幅較大地區的部分生產線，預計需要較長的時間調整校正以回復自動化生產。外界認為，這可能是指先進封裝重鎮龍潭廠，因受地震疏散影響，生產製程設備因網路訊號不穩或斷線需重新設定參數，加上地震衝擊無塵室空間、管路受損及機台移位，整體調度修復需要花長時間。

聯電

聯電發言人表示，強震對南科十二吋廠影響較輕，竹科八吋廠較嚴重，公司機台設備、管線都沒有震損，只有設備機台移位、部分石英爐管破損、撒水頭損壞、局部辦公室天花板損壞等情形。

據市場消息，聯電正積極調度人力，使竹科八吋廠設備機台復位，清理破損晶圓，更換石英爐管，預期需要二到三天、甚至一週才能復原。

世界先進

世界先進表示，至 4 日中午為止，約 80% 受影響的機台已經恢復正常，並將逐步恢復生產作業。公司已於地震發生的第一時間通知受影響的客戶，與其保持密切繫，並個別溝通細部資訊。

竹科管理局

晶圓及面板製造大廠等大部分工廠在 3 日就完成復機，雖對產線有些影響，但工廠對於地震已有採取有效措施如採建物及機台耐震設計、人員疏散、機台預防性停機，對於工廠營運影響不大。

目前工廠已正常營運，少部分工廠也正復機校準中，短期內即可正常營運；廠商機台皆陸續復歸，人員已回崗位，主要晶圓製造大廠備料充足及復機順利。

中科管理局

中科園區的部分，廠商以光電、半導體、精密機械產業為主，廠商機台停機後均已陸續復歸。其中，半導體廠高精密機台復機已逾 9 成，僅部分機台調校中，4 日當日可全部完成調校正常運作。

南科管理局

截至 4 日中午，經了解區內主要大廠包括台積電、聯電、群創、台灣康寧、彩晶等公司，廠房營運皆已恢復正常運作中。將持續關注餘震及廠商動態並提供必要協助。