比利時微電子研究中心(imec)已成功展示利用 ASML 最先進的極紫外光(EUV)微影設備,實現晶圓級規模的奈米孔製作技術。ASML 傳播主管形容,由於奈米孔在分子感測領域展現的巨大潛力,這是 ASML 設備「出乎意料卻非常令人驚豔的生醫應用」。 繼續閱讀..
開創生醫應用新局,imec 靠 ASML EUV 設備成功實現晶圓級奈米孔 |
| 作者 林 妤柔|發布日期 2025 年 12 月 22 日 13:33 | 分類 半導體 , 材料、設備 |



