英特格新一代光罩盒通過 ASML 認證，可用於 EUV 技術生產製程
作者 | 發布日期 2018 年 08 月 22 日 14:30 | 分類 晶片 , 會員專區 , 材料、設備 line share follow us in feedly line share
英特格新一代光罩盒通過 ASML 認證，可用於 EUV 技術生產製程


微電子產業特種化學品和材料解決方案廠商英特格（Entegris）宣布，新一代光罩盒已獲得半導體生產設備商艾司摩爾（ASML）認證，可用於極紫外光（EUV）微影技術的晶片大量生產，用以保護製造過程中光罩的完整。

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