ASML 訪問三星!傳三星盤算搶先台積電取得次代 EUV

作者 | 發布日期 2020 年 12 月 01 日 12:45 | 分類 Samsung , 晶圓 , 晶片 Telegram share ! follow us in feedly


三星電子副會長李在鎔(Lee Jae-yong)今年 10 月出訪歐洲、拜會艾司摩爾(ASML)執行長 Peter Wennink 等人後,傳出 Wennink 也禮尚往來,於上週訪問三星,希望能促成極紫外光(EUV)微影設備的合作案。

Business Korea 1 日報導,Wennink 等 ASML 高層上週訪問了三星半導體廠,討論 EUV 微影設備的供給與發展合作案。業界內部人士相信,三星要求 ASML 供應更多 EUV 微影設備,雙方並討論開發次代 EUV 設備的合作事宜。

身為全球唯一一家 EUV 設備製造商的 ASML,目前對台積電的供貨量高於三星。三星希望跟 ASML 合組科技聯盟,取得更多次世代 EUV 微影設備。ASML 也有跟三星投資合作的必要,因為次代 EUV 設備需要大量研發資金。

三星希望投資高數值孔徑(high-numerical aperture,High-Na)EUV 設備的開發案,這種設備可改善半導體微製程所需的電路解析度,一台設備要價 5,000 億韓圜,是目前款式的 2-3 倍。ASML 計劃 2023 年年中推出設備原型,三星希望趕在台積電之前取得設備,爭取技術領先。

不過,三星一名內部人士透露,雙方並未在會議上達成投資決定。ASML 高層只是應李在鎔 10 月份的邀請前來三星訪問。ASML 高層也拜訪 SK 海力士(SK Hynix)總裁李錫熙(Lee Seok-hee),消息顯示他們討論了要如何擴大供應 EUV 設備、促進合作。

(本文由 MoneyDJ新聞 授權轉載;首圖來源:shutterstock)

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