ASML 將赴南韓打造 EUV 設備再製廠!預計 2025 年落成

作者 | 發布日期 2021 年 05 月 14 日 15:35 | 分類 國際貿易 , 晶圓 , 材料、設備 Telegram share ! follow us in feedly


荷蘭半導體設備業龍頭艾司摩爾(ASML Holding NV)生產的極紫外光(EUV)微影設備,對於晶圓代工大廠的先進製程至關重要。南韓政府宣布,ASML 計畫赴南韓打造 EUV 再製(remanufacturing)廠及訓練中心。

BusinessKorea、韓國經濟日報14日報導,南韓產業通商資源部(The Ministry of Trade, Industry and Energy,MOTIE)13日宣布,ASML未來4年將在南韓投資2,400億韓圜(2.1億美元),於京畿道華城市打造EUV微影設備聚落,當中包括一座再製廠房、一家訓練中心。

ASML是全球唯一EUV微影設備供應商,是5奈米先進製程的關鍵設備。MOTIE及京畿道政府將針對ASML的授權、擴張當地業務事宜提供協助。上述設施預計2025年底前落成,未來將在南韓聘用超過300名專才。

ASML位於南韓的再製造中心(re-manufacturing center)主要業務包括系統零部件翻修和EUV collector清洗

ASML一年只能生產30台EUV微影設備。據聞,台積電已取得50台EUV設備,三星僅10台。

半導體蝕刻機台製造商科林研發公司(Lam Research Corp.)也將擴大投資南韓。報導引述業界消息指出,科林已將南韓的生產目標提高一倍,正在尋找地點建立新廠以便擴充產能。

韓媒etnews 4月12日引述業界消息報導,想要打造半導體生產線,一定要設法取得前端製程的關鍵設備。應材、科林、東京威力科創(TEL)及ASML是全球前四大半導體設備業者,合併市佔高達60-70%。問題是,半導體設備廠每年只能生產一定數量的機台,交貨時程早已非常緊湊。

(本文由 MoneyDJ新聞 授權轉載;首圖來源:ASML

延伸閱讀: