台積電 EUV 經驗豐富力壓對手，創新降低 EUV 功耗達 24%

儘管台積電不是第一家使用極紫外線 (EUV) 微影的晶圓廠，第一頭銜為韓國三星拿下，但可確定台積電仍是全世界 EUV 用量最大代工廠。台積電多年來累積豐富 EUV 經驗，改善 EUV 工具，提高效率與產能，並降低成本。台積電年度技術論壇歐洲場詳細說明。

外媒報導，台積電 2019 年開始 N7+ 製程改用 EUV 生產，當時台積電的 EUV 設備占全球市場 42%。即使 ASML 2020 年增加 EUV 出貨量，台積電的 EUV 還佔全球 50%。今年台積電 EUV 比 2019 年增加十倍，雖三星和英特爾都在提高 EUV 產能，但台積電仍占全球 EUV 總數 56%。可說台積電很早就決定大規模使用 EUV。

台積電 EUV 生產晶圓量增幅，比 EUV 擁有數更大，台積電以 EUV 生產晶圓量是 2019 年 30 倍。顯然都透過台積電開發的創新技術。

台積電 2019 年以來，透過 EUV 生產晶圓產能提高兩倍，還大幅改善 EUV 光罩，壽命提高四倍，光罩產量提高 4.5 倍，並缺陷率大幅降低 80 倍。雖 EUV 耗電量驚人，但台積電設計未公開節能技術，將 EUV 功耗降低 24%。台積電還計劃 2030 年每套 EUV 每片晶圓生產能效提高 1.5 倍。

考慮到台積電已用標準型 EUV 達成所有製程改進，有信心繼續生產尖端晶片。儘管對手英特爾 Intel 18A 以下節點全力採用 Hgih NA EUV，反觀台積電，經過時間考驗的標準型 EUV 推動先進製程發展，避免陷入過快轉換製程的成本陷阱，同時也獲成熟技術效益。

(首圖來源：台積電)