Imec 與三井化學攜手，推動 EUV 奈米碳管光罩護膜商用
作者 | 發布日期 2023 年 12 月 23 日 9:00 | 分類 IC 設計 , 半導體 , 晶圓 line share Linkedin share follow us in feedly line share
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Imec 與三井化學攜手，推動 EUV 奈米碳管光罩護膜商用

比利時微電子研究中心（imec）攜手日本化工及極紫外光（EUV）光罩護膜大廠三井化學共同宣布，為了推動針對極紫外光（EUV）微影應用的奈米碳管（CNT）曝光薄膜技術商業化，雙方正式建立策略夥伴關係。

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