英特爾搶先台積電下訂業界首部新世代 EUV，強化與 ASML 技術合作

為推動尖端半導體微影技術發展，微影技術與曝光機大廠艾司摩爾 (ASML) 與處理器龍頭英特爾於台北時間 19 日晚間宣布長遠合作的最新發展，為雙方長遠高數值孔徑合作案的框架內容，英特爾已向 ASML 下訂業界首部 TWINSCAN EXE:5200 系統訂單。這款具備 High-NA 極紫外光（EUV）大量生產系統，每小時有 200 片以上晶圓產能。