“不同產品與製程,對粗糙度要求相異甚大,將影響後續鍍膜的附著性。
量測粗糙度藉以製程改善方向有其必要,該如何選擇到位的分析工具呢?
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中芯進口美系設備露曙光,成熟製程生產暫無疑慮 |
作者 TechNews|發布日期 2021 年 03 月 05 日 14:57 | 分類 IC 設計 , 國際貿易 , 晶圓 | edit |
近日美系主要半導體設備 WFE(Wafer Fab Equipment)供應商如 Applied Materials、Lam Research、KLA-Tencor、Axcelis,