據外媒 Tom’s Hardware 報導,沖繩科技技術大學院大學(OIST)研究團隊提出全新、大幅簡化的 EUV 曝光設備,價格比 ASML 設備便宜,若能投入量產,有望重塑晶片製造設備產業、甚至整個半導體業。 繼續閱讀..
日本學者開發簡化版 EUV 曝光設備,大幅降低晶片製造成本 |
| 作者 林 妤柔|發布日期 2024 年 08 月 07 日 16:24 | 分類 半導體 , 晶圓 , 材料、設備 |
ASML 預定 2030 年供應 Hyper-NA EUV,能否商業化關鍵就是成本 |
| 作者 Atkinson|發布日期 2024 年 06 月 14 日 15:30 | 分類 半導體 , 晶圓 , 晶片 | edit |
荷蘭商艾司摩爾 (ASML) EUV 曝光機為先進半導體生產關鍵,ASML 有序執行藍圖,首階段是標準 EUV 後迎接 High-NA EUV,去年底 ASML 就交貨英特爾首套 High-NA EUV。ASML 上週又證實,年底交貨台積電 High-NA EUV。半導體業剛準備邁入 High-NA EUV 時代,ASML 又開始研究下代機台 Hyper-NA EUV,尋找合適解決方案。
